Élaboration et caractérisation des matériaux pérovskites déposés en couches minces

Abstract

L’objectif de ce mémoire de fin d’étude est de s’initier à l’élaboration des matériaux pérovskites en couches minces. Les matériaux pérovskites sont des oxydes mixtes de type ABO3 présentant des propriétés chimiques, optiques, mais surtout électriques intéressantes tel que la « piézoélectricité ». Le dépôt de ces derniers en couches minces leurs permet d’intégrer divers dispositifs électroniques et autre. L’élaboration des gels à base de BaTiO3 (BT) et de Pb(Zr0,52Ti0,48)O3 (PZT) est effectuée par voie sol-gel, leurs dépôts ont été réalisés sur des substrats en silicium par spin coating. L’étude de l’effet de la température de calcination a été réalisée par différentes méthodes de caractérisation. Les analyses par DRX et par spectroscopie Raman confirment la formation de la phase pérovskite pour le PZT calciné à 680 °C et pour le BT calciné à 700 et 800 °C. Les analyses MEB ont permis de confirmer la formation d’une couche mince pour le BT et le PZT.