Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.

dc.contributor.authorBensmaine_Nee_Medjadi, Souhilaen_US
dc.date.accessioned2014-03-03T12:42:25Zen_US
dc.date.available2014-03-03T12:42:25Zen_US
dc.date.issued2014-03-03en_US
dc.description.abstractCe travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat.en_US
dc.identifier.otherDOC-537-07-01en_US
dc.identifier.urihttps://dspace.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329en_US
dc.language.isofren_US
dc.subjectOxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface.en_US
dc.titleDépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.en_US
dc.typeThesisen_US

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