Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.

Abstract

Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat.