Caracterisation des couches nanoporeuses au silicium et leurs applications cas de la detection de GAZ

Abstract

Dans notre travail nous avons réalisé et caractérisé des couches nanoporeuses élaborées par anodisation électrochimique.Nous avons présenté les différentes applications de ces dernières, tout en portant un intérêt particulier pour la détection des gaz . En première lieue nous avons démontré que le silicium poreux est un candidat potentiel pour la détection de gaz, due à sa grande particularité de surface.