Étude des conditions physiques d'une décharge DF-CCP pour l'obtention de couches minces.

Abstract

On présente dans ce travail l'effet de la capacité de blocage (CB) et l'angle de phase (θ) par une décharge plasma capacitive double fréquence (DF-CCP). Cette étude est réalisée par le modèle particulaire en tenant compte des collisions de Monté-Carlo (PIC-MCC). Les résultats de la simulation sont confirmés par un modèle semi-analytique, nos résultats montrent que le couple (CB,θ) contrôle la tension d'auto-polarisation (ƞ), où ƞ est la chute de potentiel formé dans les gaines adjacentes à l'électrode de puissance et de masse. On montre aussi la possibilité d'utiliser le couple (CB,θ) comme paramètres à contrôler indépendamment la chute de potentiel dans la gaine de puissance (Фsp) par rapport à celui de l'électrode de masse (Фsg) (et vice-versa). Cette dernière, nous permet de contrôler, quasi-indépendamment la distribution en énergie ioniques bombardant chaque électrode.