CONCEPTION-ET-MODELISATION-D’UN-MICROLEVIER-PIEZORESISTI- APPLICATION-AU-MICROSCOPE-A-FORCE-ATOMIQUE-inistère

Abstract

Dans le cadre de ce mémoire, nous avons modélisé le comportement du microlevier piézorésistif, nous avons étudié une de ces applications : c’est le microscope à force atomique. Enfin, nous nous sommes attachés à concevoir un microlevier piézorésistif pouvant servir de produit consommable pour l’AFM. Dans le premier chapitre, nous avons rappelé quelques notions de base sur les microsystèmes. Nous avons aussi donné les principaux types de microsystèmes à savoir les microcapteurs, les micro-actionneurs et les microstructures passives ayant comme partie mécanique principale un microlevier.