Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.

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Élément Dublin Core	Valeur	Langue
dc.contributor.author	BENSMAINE_nee_MEDJADI, Souhila	-
dc.date.accessioned	2014-03-03T12:42:25Z	-
dc.date.available	2014-03-03T12:42:25Z	-
dc.date.issued	2014-03-03	-
dc.identifier.other	DOC-537-07-01	-
dc.identifier.uri	http://dspace.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329	-
dc.description.abstract	Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat.	en_US
dc.language.iso	fr	en_US
dc.subject	Oxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface.	en_US
dc.title	Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.	en_US
dc.type	Thesis	en_US
Collection(s) :	Doctorat classique en Physique

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